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晶圆激光裂片机

晶圆在生产完毕后,要进行晶圆切割,目前采用的切割手段依然是采用金刚石刀轮切割,主要设备是日本DISCO公司,中国北京45所也做该类设备,但是与日本进口设备依然存在很大的代差。 

激光行业有一直在寻找激光晶圆切割方案,比较流行的是超快激光,采用多激光焦点进行隐形切割,达到晶圆的切割目的。这种方法目前还没有被业内所接受,主要是激光切割过程中还是有切割缺陷,该缺陷导致芯片三点抗压强度下降。 

我司授权发明#,采用了激光与冷媒形成晶圆内外应力差达到硅晶圆应力裂片,芯片侧面为解理面,不降低芯片三点抗压强度。我司的授权发明技术方案,应该是激光在晶圆切割领域最有希望替代机械切割的技术路线,也将完全替代日本进口金刚石刀轮划片机。

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武汉铱科赛科技有限公司是一家位于武汉·中国光谷的高端激光微加工装备公司,专注于具有自主知识产权的自动化高精密激光应用装备的研发、生产与销售,目前成熟主要产品包括线路板激光盲孔钻孔机与线路板激光通孔钻孔机及其配套自动化收放卷料机、5G线路板纳秒紫外激光洁净冷切割机,即将推向市场的HDI硬板激光钻孔机及其配套自动化配套设备,处于公司未来规划中的设备有:硅晶圆激光裂片机、晶圆芯片级激光标刻机、硅晶圆激光钻孔机、LTCC紫外激光钻孔机等,这些将广泛应用于电子电路、半导体行业。公司核心团队由行业资深专家、工程师、资本投资组成,专注于具有核心激光微加工工艺的激光微加工装备的开发与优化。公司立志成为中国高端微加工领域领军企业,坚持自主研发,技术创新,为客户提供最具价值的高端激光应用解决方案,所有产品设计及生产环节均自主可控,并形成专利保护自有技术(CN201620008544.7;CN201610004473.8;CN201811301064.X;CN201910322964.0;CN201910488076.6)。不极致,不登场!全力以赴,做中国高端激光微加工领军企业!