晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料,其形状为圆形,所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用,如果没有特别指明晶体材料,通常指硅晶圆。晶圆表面经过复杂的半导体工艺后形成复杂的线路和特定功能,每一个功能单元称呼为一个芯片,因此这里面涉及到晶圆的切割或者裂片,晶圆芯片背面的标刻(用于跟踪产品质量),也有涉及到多层晶圆之间的封装,涉及不同曾晶圆芯片之间的层间互连,这里面又涉及到晶圆钻孔。本公司的核心#技术都可以在这些领域大放异彩。
对于直写光刻领域,本公司递交了一种精细直写光刻#,有希望轻松实现100nm的直写光刻。